TPM3 Series Fais Fab Controller
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TPM3 Series Fais Fab Controller
Lub TPM3 series fais fab maub los txais yuav lub tswv yim tsim qauv, thiab cov khoom lag luam muaj cov interface module thiab lub zog module. Qhov siab tshaj plaws ntawm 16 lub zog modules tuaj yeem txuas nrog ib qho interface module, thiab txhua lub zog hluav taws xob sib txuas ua ke 6 qhov hluav taws xob. Ib qho TPM3 series khoom tuaj yeem paub txog kev tswj cua sov kom txog li 96 ib-theem loads. Cov khoom no tsuas yog siv nyob rau hauv ntau qhov chaw tswj qhov kub thiab txias xws li semiconductor epitaxy rauv, tsheb txau thiab ziab.