Deposition
Tau txais kev nkag siab thiab ua kom cov txheej txheem txhim kho.
Advanced Zog muab cov khoom siv hluav taws xob thiab kev tswj xyuas cov kev daws teeb meem rau cov ntawv thov nyias nyias thiab cov cuab yeej geometry.Txhawm rau daws cov teeb meem kev ua haujlwm wafer, peb cov kev hloov pauv hloov pauv hloov pauv hloov pauv tau tso cai rau koj los txhim kho lub zog raug, qhov tseeb, nrawm, thiab cov txheej txheem rov ua dua.
Peb muab ntau yam ntawm RF zaus, DC lub zog hluav taws xob, kho lub zog tso zis ntau ntau, cov thev naus laus zis sib xws, thiab fiber ntau optic ntsuas kub ntsuas cov kev daws teeb meem uas tuaj yeem pab koj tswj cov txheej txheem ntshav plasma zoo dua.Peb kuj koom nrog Fast DAQ ™ thiab peb cov ntaub ntawv tau txais thiab kev nkag mus tau yooj yim los muab cov txheej txheem kev pom thiab ua kom cov txheej txheem txhim kho.
Kawm paub ntau ntxiv txog peb cov txheej txheem tsim khoom semiconductor txhawm rau nrhiav kev daws teeb meem uas haum koj cov kev xav tau.
Koj Challenge
Los ntawm cov yeeb yaj kiab siv los ua qauv sib xyaw ua ke ntawm qhov ntev mus rau cov yeeb yaj kiab thiab cov khoom siv hluav taws xob (cov qauv hluav taws xob), rau cov yeeb yaj kiab hlau (kev sib txuas), koj cov txheej txheem tso nyiaj yuav tsum muaj kev tswj hwm qib atomic - tsis yog rau txhua qhov tshwj xeeb tab sis thoob plaws tag nrho wafer.
Tshaj li tus qauv nws tus kheej, koj cov yeeb yaj kiab tso yuav tsum yog qhov zoo.Lawv yuav tsum muaj cov qauv nplej uas xav tau, sib xws, thiab cov tuab tuab, thiab tsis muaj dab tsi - thiab qhov ntawd yog ntxiv rau muab cov kev xav tau ntawm cov neeg kho tshuab (compressive thiab tensile) thiab cov khoom hluav taws xob.
Qhov nyuaj tsuas yog txuas ntxiv mus ntxiv.Txhawm rau hais txog cov kev txwv lithography (sub-1X nm nodes), tus kheej-ua ke ob thiab plaub lub qauv qauv xav kom koj cov txheej txheem tso nyiaj los tsim thiab tsim cov qauv ntawm txhua qhov wafer.
Peb Kev daws
Thaum koj xa cov ntawv thov kev tso nyiaj tseem ceeb tshaj plaws thiab cov cuab yeej geometry, koj xav tau tus thawj coj ua lag luam txhim khu kev qha.
Advanced Energy's RF fais fab xa tuaj thiab cov cuab yeej siv nrawm nrawm ua rau koj hloov kho thiab ua kom zoo dua lub zog raug, precision, ceev, thiab cov txheej txheem rov ua dua uas yuav tsum tau ua rau tag nrho cov txheej txheem PECVD thiab PEALD siab heev.
Siv peb lub tshuab hluav taws xob DC los kho kom zoo rau koj cov lus teb arc configurable, lub zog raug, ceev, thiab cov txheej txheem rov ua dua yuav tsum tau PVD (sputtering) thiab ECD deposition txheej txheem.
Cov txiaj ntsig
● Txhim kho ntshav plasma stability thiab cov txheej txheem rov ua kom muaj txiaj ntsig zoo
● Precise RF thiab DC xa nrog tag nrho cov tswj digital pab txhim kho cov txheej txheem ua haujlwm zoo
● Cov lus teb ceev ceev rau kev hloov ntshav ntshav thiab kev tswj hwm arc
● Multi-theem pulsing nrog adaptive zaus tuning txhim kho etch tus nqi xaiv
● Kev txhawb nqa thoob ntiaj teb muaj los xyuas kom meej lub sijhawm ua haujlwm siab tshaj plaws thiab cov khoom ua tau zoo